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日本首台 ASML EUV 光刻机年末运抵:用于 Rapidus 晶圆厂试产
IT之家 11 月 15 日消息,《日本经济新闻》当地时间今日凌晨报道称,日本先进半导体代工企业 Rapidus 购入的第一台 ASML EUV 光刻机将于 2024 年 12 月中旬抵达北海道新千岁机场,这也将成为日本全国首台 EUV 光刻设备。
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