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1.
Vacuum
technology
;
acceptance
specifications for
diffusions
pumps
and
vapour
jet
vacuum
pumps for
vapour
pressures
of
the
pump
fluid
1 mbar
真空
技术
.
蒸
气压
低于
1mbar
的
扩散
泵
和
蒸
气
喷射
真空泵
的
验收
规则
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